La espectroscopia de electrones fotoemitidos con resolución angular permite explorar la composición y estados químicos de un material a través de su profundidad variando el ángulo de la muestra con respecto al analizador. A diferencia del perfil de composición con erosión de iones, en ARXPS no se destruye la muestra, permitiendo analizar  zonas por debajo de la profundidad de escape de los electrones. 

En general con ARXPS se puede obtener: 

 

• Las posiciones relativas de los elementos presentes dentro de la profundidad de escape de los electrones (~10nm)

• El espesor de las capas superiores, siempre y cuando su valor esperado sea <10nm, ya que  se mide con respecto a la capa base o substrato.

 

• Las